Tokuyamas EX-Alpha: Hochreines Polysilizium als Qualitätshebel für 300-mm-Chips
TOKIO / LONDON (IT BOLTWISE) – Tokuyamas EX-Alpha ist hochreines Polysilizium fĂĽr 300-mm-Wafer und zielt auf präzisere Prozessfenster in der Halbleiterfertigung. Im Fokus stehen extrem niedrige Metall- und Kohlenstoffverunreinigungen, die die Ausbeute in der Fab direkt beeinflussen können. FĂĽr Foundries bedeutet das weniger Streuung bei kritischen Parametern, während Kunden die Leitfähigkeit ihrer Wafer feiner einstellen […]
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