ASML TWINSCAN NXT: 2000i: DUV-Immersionsscanner fĂĽr 300-mm-Wafer mit 1,35 NA
LONDON (IT BOLTWISE) – ASMLs TWINSCAN NXT: 2000i ist ein tief-ultraviolettes DUV-Immersionslithographiesystem, das speziell fĂĽr die Volumenfertigung von 300-mm-Wafern ausgelegt ist. HerzstĂĽck ist ein katadioptrisches Projektionsobjektiv mit 1,35 numerischer Apertur bei 193-nm-Belichtung. In der Praxis adressiert der Scanner kritische Schichten noch im Bereich von etwa 38 bis 40 nm, während er gleichzeitig einen hohen Durchsatz […]
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