Laser Zeta Series von Lasertec: Hochgeschwindigkeits-Inspektion fĂĽr 300-mm-Wafer
SANTA CLARA / LONDON (IT BOLTWISE) – Lasertec stellt mit der Laser Zeta Series ein Hochgeschwindigkeits-Laserinspektionssystem fĂĽr 300-mm-Siliziumwafer vor. Im Fokus stehen kleinere Defekte auf nackten und teilprozessierten Wafern, ohne den Durchsatz in den neueren 5-nm- und 3-nm-Fabs spĂĽrbar zu drĂĽcken. FĂĽr Betreiber wird damit vor allem die Frage relevant, ob zusätzliche Inspektionsschritte frĂĽhen Ausschuss […]
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