Tokyo Electron Prexa Prime: High-End-Plasmaätzen für 300-mm-Fabs
TOKYO / LONDON (IT BOLTWISE) – Tokyo Electron bringt mit „Prexa Prime“ eine Plasma-Ă„tzplattform fĂĽr 300-mm-Fabs in den Fokus: ausgelegt auf hohen Durchsatz, enge Prozessuniformität und lange Kampagnenlaufzeiten im Dauerbetrieb. FĂĽr Betreiber zählt dabei weniger die reine Leistungsfähigkeit einzelner Steps, sondern die Reproduzierbarkeit ĂĽber Tausende von Wafern. Im Wettbewerb mit anderen Prozess-AusrĂĽstern entscheidet sich, wie […]
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