Wafer-durchsatz

LONDON (IT BOLTWISE) – ASMLs TWINSCAN NXT: 2000i ist ein tief-ultraviolettes DUV-Immersionslithographiesystem, das speziell für die Volumenfertigung von 300-mm-Wafern ausgelegt ist. Herzstück ist ein katadioptrisches Projektionsobjektiv mit 1,35 numerischer Apertur bei 193-nm-Belichtung. In der Praxis adressiert der Scanner kritische Schichten noch im Bereich von etwa 38 bis 40 nm, während er gleichzeitig einen hohen Durchsatz […]